Proprietà dielettriche del nitruro di silicio

Rivista
Rapporto interno Istituto di Fisica di Parma (IFPR-S-190). Luglio 1979.

Autori
E.Zecchi et al..

Introduzione
Lo studio delle proprietà fisiche del nitruro di silicio si è rivolto finora quasi esclusivamente all’analisi delle proprietà meccaniche, in vista delle applicazioni tecnologiche, particolarmente nel settore delle turbine a gas operanti ad elevate temperature. Per quanto riguarda le proprietà elettriche la letteratura al riguardo è povera, eccezion fatta per i film di SI3N4 depositati per reazione chimica da fase vapore su substrati di molibdeno o silicio di tipo n, che hanno avuto interesse qualche anno fa per applicazioni nel campo dell’elettronica…

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